单晶槽式制绒设备
设备名称 Equipment Name
单晶槽式制绒设备 Mono-crystalline Batch Texturing Equipment
设备型号 Equipment Model
SC-CSZ8000E-16F
设备用途 Equipment Application
主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。
Used for texturing& cleaning of mono crystalline wafers.
工艺流程 Process Flow
去损伤→预清洗→单晶制绒→后清洗或O3清洗→酸洗→预脱水→烘干（供参考）
Saw damage removal→Pre-cleaning→Mono-texturing→Post-cleaning/O3 cleaning→Acid cleaning→Hot water drying→Drying (for reference only)
技术特点 Features
1、产能：400片/批， 8000片/时。
Throughput: 400pcs/batch, 8000pcs/h.
2、工艺槽循环量可调。
Process bath circulation volume adjustable.
3、制绒金字塔均匀，刻蚀深度可调。
Uniform pyramids texture, etch depth adjustable.
4、支持最薄120μm硅片。
Wafer thickness handling capability up to 120μm.
5、洁净干燥区域，自洁净干燥系统。
With clean dry area and self-clean dry system.
6、不需要加H2O2。
H2O2 free.
7、快速换液，在线换液。
Quick inline bath change.
8、支持MES、RFID及选配在线称重功能。
Available with MES, RFID system, inline weight testing optional.
设备参数 Parameters
